2026年9月，廣東精瓷新材料有限公司與北京北廣精儀儀器設(shè)備有限公司再度完成合作交付，一臺(tái)BEST-380型體積表面電阻率測(cè)試儀正式入駐企業(yè)位于河源高新區(qū)的半導(dǎo)體精密陶瓷新材料研發(fā)中心。這是雙方合作多年以來(lái)的第5次設(shè)備采購(gòu)，此前精瓷新材料已經(jīng)先后從北廣精儀引入了耐電壓擊穿試驗(yàn)儀、灼熱絲試驗(yàn)儀、高溫絕緣電阻測(cè)試儀等多臺(tái)核心檢測(cè)設(shè)備，本次新設(shè)備的落地，標(biāo)志著企業(yè)圍繞半導(dǎo)體精密陶瓷全譜系電學(xué)性能搭建的完整自主檢測(cè)體系正式閉環(huán)，也成為國(guó)產(chǎn)物性檢測(cè)裝備憑借長(zhǎng)期穩(wěn)定表現(xiàn)，贏得硬科技新材料企業(yè)持續(xù)復(fù)購(gòu)信任的典型行業(yè)樣本。

作為河源市新材料賽道的頭部企業(yè)，廣東精瓷新材料成立于2021年，是一家專注于半導(dǎo)體用精密陶瓷零部件研發(fā)與量產(chǎn)的科創(chuàng)型企業(yè)，核心產(chǎn)品覆蓋半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備用靜電卡盤、高精密陶瓷真空吸盤、氮化鋁陶瓷加熱器等關(guān)鍵半導(dǎo)體零部件，是國(guó)內(nèi)少數(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)該類精密陶瓷產(chǎn)品國(guó)產(chǎn)化量產(chǎn)的核心供應(yīng)商。依托持續(xù)高強(qiáng)度的研發(fā)投入，企業(yè)僅用5年時(shí)間就快速成長(zhǎng)為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體陶瓷賽道的新銳力量：2025年成功獲評(píng)廣東省企業(yè)，同年完成A輪融資，企業(yè)科創(chuàng)評(píng)分達(dá)到91分的級(jí)水平；目前企業(yè)擁有34項(xiàng)，搭建了覆蓋材料配方研發(fā)、精密成型、高溫?zé)Y(jié)、精密機(jī)加工全流程的完整生產(chǎn)線，具備年產(chǎn)2000套12寸&8寸氧化鋁&氮化鋁靜電卡盤、20000套大尺寸碳化硅陶瓷真空吸盤的生產(chǎn)能力，產(chǎn)品已經(jīng)進(jìn)入國(guó)內(nèi)多家頭部半導(dǎo)體制造企業(yè)的供應(yīng)鏈體系。

半導(dǎo)體精密陶瓷是半導(dǎo)體制造裝備的核心關(guān)鍵零部件，其性能直接決定晶圓制造的加工精度與生產(chǎn)良率，而材料的體積電阻率、表面電阻率指標(biāo)，更是直接關(guān)系到靜電卡盤的靜電吸附穩(wěn)定性、真空吸盤的靜電耗散能力、陶瓷加熱器的長(zhǎng)期絕緣安全性，哪怕是陶瓷材料內(nèi)部微米級(jí)的電阻率不均，都有可能在晶圓制造過(guò)程中引發(fā)靜電放電、局部絕緣擊穿等問(wèn)題，直接造成晶圓報(bào)廢，給半導(dǎo)體制造企業(yè)帶來(lái)數(shù)十萬(wàn)元甚至上百萬(wàn)元的損失。因此這類精密陶瓷產(chǎn)品的電阻率測(cè)試，對(duì)檢測(cè)設(shè)備的精度、長(zhǎng)期穩(wěn)定性、寬溫域適配性都有著遠(yuǎn)超普通工業(yè)材料的嚴(yán)苛要求。

在企業(yè)發(fā)展早期，精瓷新材料的核心電學(xué)性能檢測(cè)環(huán)節(jié)依賴外部第三方實(shí)驗(yàn)室完成，不僅檢測(cè)周期長(zhǎng)達(dá)3-5天，無(wú)法適配生產(chǎn)線的日常抽檢與研發(fā)環(huán)節(jié)高頻次對(duì)比實(shí)驗(yàn)的需求，也難以滿足半導(dǎo)體客戶對(duì)產(chǎn)品全流程檢測(cè)數(shù)據(jù)溯源的嚴(yán)苛要求。為了補(bǔ)齊自主檢測(cè)能力的短板，精瓷新材料在2023年啟動(dòng)核心檢測(cè)設(shè)備選型，經(jīng)過(guò)多輪對(duì)比測(cè)試，最終選擇了北廣精儀的耐電壓擊穿試驗(yàn)儀，用于陶瓷材料的電氣強(qiáng)度測(cè)試。這臺(tái)設(shè)備交付落地后，給企業(yè)帶來(lái)了的改變：原本需要送外檢測(cè)的擊穿性能項(xiàng)目，在企業(yè)內(nèi)部15分鐘內(nèi)即可完成單組樣件測(cè)試，生產(chǎn)線的抽檢效率提升了90%，直接助力企業(yè)順利通過(guò)了家頭部半導(dǎo)體客戶的供應(yīng)商現(xiàn)場(chǎng)審核。

在后續(xù)兩年多的合作過(guò)程中，北廣精儀的設(shè)備憑借長(zhǎng)期穩(wěn)定的運(yùn)行表現(xiàn)、精準(zhǔn)可靠的測(cè)試數(shù)據(jù)、快速響應(yīng)的本地化服務(wù)，獲得了精瓷新材料研發(fā)與質(zhì)檢團(tuán)隊(duì)的高度認(rèn)可。隨著企業(yè)的產(chǎn)能規(guī)模持續(xù)擴(kuò)張、研發(fā)賽道不斷延伸，精瓷新材料又先后4次向北廣精儀追加采購(gòu)設(shè)備：2024年采購(gòu)灼熱絲試驗(yàn)儀，用于陶瓷外圍配套高分子絕緣構(gòu)件的阻燃安全檢測(cè)；同年采購(gòu)高溫絕緣電阻測(cè)試儀，用于陶瓷材料在200℃高溫工況下的絕緣性能測(cè)試；2025年采購(gòu)半導(dǎo)體材料專用四探針電阻率測(cè)試儀，用于半導(dǎo)電改性陶瓷的低阻性能測(cè)試；2026年年初采購(gòu)工頻介電常數(shù)介質(zhì)損耗測(cè)試儀，用于精密陶瓷材料的介電性能參數(shù)測(cè)試。多臺(tái)設(shè)備的先后落地，逐步搭建起覆蓋半導(dǎo)體陶瓷核心電學(xué)性能的初步檢測(cè)體系，為企業(yè)的產(chǎn)品迭代、客戶拓展提供了有力的檢測(cè)支撐。

2026年，隨著精瓷新材料多款面向14nm以下制程的新一代半導(dǎo)體靜電卡盤產(chǎn)品進(jìn)入最終研發(fā)驗(yàn)證階段，企業(yè)對(duì)陶瓷材料的體積電阻率、表面電阻率全參數(shù)精準(zhǔn)測(cè)試提出了全新的要求：原有幾臺(tái)不同功能的檢測(cè)設(shè)備，無(wú)法在統(tǒng)一的測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)下完成同一樣品的高阻全參數(shù)同步測(cè)試，不同設(shè)備之間的測(cè)試數(shù)據(jù)存在系統(tǒng)偏差，難以支撐制程陶瓷材料的精細(xì)化性能優(yōu)化。基于此前多年的良好合作體驗(yàn)，以及對(duì)北廣精儀產(chǎn)品性能與服務(wù)能力的充分信任，精瓷新材料沒(méi)有啟動(dòng)大范圍公開(kāi)招標(biāo)，直接選擇向北廣精儀發(fā)起第5次采購(gòu)，引入一臺(tái)BEST-380型體積表面電阻率測(cè)試儀，專門用于半導(dǎo)體精密陶瓷材料的高阻性能標(biāo)準(zhǔn)化測(cè)試。

針對(duì)精瓷新材料半導(dǎo)體精密陶瓷的特殊測(cè)試場(chǎng)景，北廣精儀專門對(duì)這臺(tái)BEST-380設(shè)備進(jìn)行了多項(xiàng)專屬適配優(yōu)化：升級(jí)了高穩(wěn)定性的三電極測(cè)試工裝，適配不同尺寸、不同厚度的陶瓷塊狀樣品，消除了陶瓷樣品表面微小粗糙度帶來(lái)的接觸誤差；優(yōu)化了1000V高測(cè)試電壓下的微弱電流采集系統(tǒng)，針對(duì)高阻態(tài)氮化鋁、氧化鋁陶瓷的測(cè)試場(chǎng)景，將電流采集精度提升了一個(gè)數(shù)量級(jí)；同時(shí)在系統(tǒng)中內(nèi)置了半導(dǎo)體陶瓷行業(yè)的專屬測(cè)試流程模板，支持測(cè)試數(shù)據(jù)與企業(yè)現(xiàn)有的生產(chǎn)MES系統(tǒng)直接對(duì)接，所有測(cè)試數(shù)據(jù)自動(dòng)歸檔留痕，半導(dǎo)體行業(yè)嚴(yán)苛的產(chǎn)品溯源要求。

為了保障這臺(tái)新設(shè)備快速融入企業(yè)現(xiàn)有的檢測(cè)體系，北廣精儀的廣東區(qū)域服務(wù)工程師團(tuán)隊(duì)時(shí)間從駐點(diǎn)趕赴河源精瓷新材料的研發(fā)中心，完成設(shè)備的上門安裝調(diào)試。工程師團(tuán)隊(duì)結(jié)合此前交付的多臺(tái)設(shè)備的使用習(xí)慣，把新采購(gòu)的BEST-380設(shè)備的測(cè)試數(shù)據(jù)格式與原有檢測(cè)體系的報(bào)表系統(tǒng)進(jìn)行了打通適配，讓檢測(cè)人員可以在統(tǒng)一的框架下完成所有電學(xué)性能測(cè)試的數(shù)據(jù)匯總，無(wú)需手動(dòng)轉(zhuǎn)換格式。同時(shí)針對(duì)企業(yè)新入職的十余名研發(fā)與質(zhì)檢人員，開(kāi)展了新舊多臺(tái)設(shè)備的聯(lián)動(dòng)操作培訓(xùn)，把不同電學(xué)性能測(cè)試的邏輯關(guān)聯(lián)、數(shù)據(jù)交叉驗(yàn)證方法進(jìn)行了系統(tǒng)性講解，幫助團(tuán)隊(duì)快速掌握整套檢測(cè)體系的高階使用技巧。

在后續(xù)為期一周的試運(yùn)行階段，這臺(tái)全新交付的BEST-380體積表面電阻率測(cè)試儀，與此前陸續(xù)采購(gòu)的多臺(tái)北廣精儀設(shè)備形成了的能力互補(bǔ)：整套檢測(cè)體系配合完成了新一代8寸半導(dǎo)體靜電卡盤產(chǎn)品的全流程電學(xué)性能驗(yàn)證測(cè)試，累計(jì)完成近800組不同工藝參數(shù)下的陶瓷樣品對(duì)比測(cè)試，采集的大量標(biāo)準(zhǔn)化精準(zhǔn)數(shù)據(jù)，直接幫助研發(fā)團(tuán)隊(duì)把新型氮化鋁陶瓷的電阻率均勻性提升了20%，讓這款面向制程的靜電卡盤產(chǎn)品的研發(fā)進(jìn)度提前了一個(gè)月。企業(yè)研發(fā)中心負(fù)責(zé)人表示，這臺(tái)BEST-380設(shè)備的落地，補(bǔ)齊了此前高阻參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)化測(cè)試的塊短板，企業(yè)圍繞半導(dǎo)體精密陶瓷搭建的全自主電學(xué)性能檢測(cè)體系正式閉環(huán)。

事實(shí)上，廣東精瓷新材料的多次持續(xù)采購(gòu)，并非北廣精儀在華南半導(dǎo)體新材料產(chǎn)業(yè)集群中的個(gè)例。作為國(guó)內(nèi)深耕絕緣檢測(cè)領(lǐng)域的技術(shù)型企業(yè)，北廣精儀多年來(lái)始終堅(jiān)持以產(chǎn)品長(zhǎng)期穩(wěn)定性、本地化快速服務(wù)為核心，在華南半導(dǎo)體、新能源新材料產(chǎn)業(yè)帶積累了大量長(zhǎng)期深度合作的優(yōu)質(zhì)客戶，不少企業(yè)都和精瓷新材料一樣，從單臺(tái)設(shè)備的初次采購(gòu)開(kāi)始，隨著自身業(yè)務(wù)的持續(xù)成長(zhǎng)，逐步向北廣精儀追加采購(gòu)多臺(tái)不同品類的檢測(cè)設(shè)備，最終搭建起覆蓋全流程的自主檢測(cè)體系。依托十余年的自主技術(shù)沉淀，北廣精儀打造的全系列物性檢測(cè)設(shè)備，已經(jīng)形成了覆蓋從基礎(chǔ)工業(yè)質(zhì)檢到半導(dǎo)體材料科研的完整產(chǎn)品矩陣，能夠針對(duì)不同細(xì)分行業(yè)的特殊測(cè)試需求，快速輸出定制化的檢測(cè)解決方案，這也是企業(yè)能夠持續(xù)獲得客戶長(zhǎng)期信任的核心原因。

站在國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體零部件產(chǎn)業(yè)自主化的視角來(lái)看，雙方的多次深度合作，有著遠(yuǎn)超單次設(shè)備采購(gòu)的行業(yè)示范意義。近年來(lái)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體零部件產(chǎn)業(yè)進(jìn)入高速發(fā)展期，大量國(guó)產(chǎn)替代企業(yè)快速成長(zhǎng)，而搭建自主可控的檢測(cè)體系，正是這類硬科技企業(yè)突破海外客戶供應(yīng)鏈壁壘、實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品化升級(jí)的核心基礎(chǔ)。以北廣精儀為代表的國(guó)內(nèi)檢測(cè)設(shè)備企業(yè)，憑借高性價(jià)比、快速響應(yīng)的本地化服務(wù)，能夠幫助成長(zhǎng)中的半導(dǎo)體新材料企業(yè)用更低的成本、更短的周期搭建起符合國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的全流程檢測(cè)體系，為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體零部件產(chǎn)業(yè)的自主可控進(jìn)程提供有力的底層支撐。

未來(lái)，隨著這臺(tái)BEST-380體積表面電阻率測(cè)試儀的全面投入使用，廣東精瓷新材料的半導(dǎo)體精密陶瓷全維度電學(xué)性能檢測(cè)能力將達(dá)到水平，不僅能支撐現(xiàn)有產(chǎn)品的品質(zhì)穩(wěn)定提升，更將為下一代面向7nm及以下制程的半導(dǎo)體陶瓷零部件研發(fā)提供核心實(shí)驗(yàn)支撐，助力企業(yè)進(jìn)一步擴(kuò)大在國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體零部件賽道的。而北廣精儀也將以本次合作為新的起點(diǎn)，持續(xù)深耕華南半導(dǎo)體新材料產(chǎn)業(yè)集群，針對(duì)區(qū)域內(nèi)硬科技企業(yè)不斷涌現(xiàn)的新測(cè)試需求，持續(xù)迭代優(yōu)化產(chǎn)品技術(shù)與本地化服務(wù)體系，為更多半導(dǎo)體新材料企業(yè)提供更專業(yè)、更可靠的檢測(cè)解決方案，助力國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體零部件產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展。北京北廣精儀儀器設(shè)備有限公司所售產(chǎn)品均為北廣精儀儀器設(shè)備有限公司自己研發(fā)生產(chǎn)，北廣精儀儀器設(shè)備有限公司是集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售為一體的技術(shù)企業(yè)。