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空洞共振腔適用于CCL/印刷線路板，薄膜等非破壞性低介電損耗材料量測。 印電路板主要由玻纖與環氧樹脂組成的, 玻纖介電常數為5~6, 樹脂大約是3, 由于樹脂含量, 硬化程度, 溶劑殘留等因素會造成介電特性的偏差, 傳統測量方法樣品制作不易, 尤其是薄膜樣品( 小于 10 mil) 量測值偏低,。

高頻介質損耗測試系統由S916測試裝置（夾具）、GDAT型高頻Q表、數據采集和tanδ自動測量控件（裝入GDAT)、及LKI-1型電感器組成，它依據國標GB/T 1409-2006、美標ASTM D150以及電工委員會IEC60250的規定設計制作。系統提供了絕緣材料的高頻介質損耗角正切值(tanδ)和介電常數(ε)自動測量的Z佳解決方案。